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PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
為了降低化學(xué)沉積溫度，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，這種CVD系統(tǒng)稱之為等離子體增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD），該設(shè)備可以根據(jù)氣體的種類數(shù)量、射頻功率大小、氣體是否需要預(yù)熱、沉積所需溫區(qū)隨意定制。
主要參數(shù)
型號 | QJ1200-PE60 | QJ1200-PE60Y |
工作溫度 | ≤1000℃ | ≤1000℃ |
升溫速率 | 10℃/min | 10℃/min |
氣體預(yù)熱區(qū) | 無 | 200mm |
沉積區(qū)長度 | 200mm | 440mm |
恒溫區(qū)長度 | 100mm | 220mm |
石英管管徑 | 50/60mm | 50/60/80/100mm |
控溫方式 | 30段PID程序控溫 | 30段PID程序控溫 |
射頻功率 | 100/300/500W自匹配 | 100/300/500W自匹配 |
射頻頻率 | 13.56Mhz | 13.56Mhz |
真空泵抽速 | 4L/s | 4L/s |
真空度 | ≤10Pa | ≤10Pa |
進氣種類 | 1~4種 | 1~4種 |
功率 | 220V/4kw | 220V/7kw |
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